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日本Union-搭配表面和透射光源丨观察芯片-显微镜-DZ2-IR 

          

  红外观察测量显微镜DZ2-IR

型号:DZ2-IR

品牌:UNIOn

品名:红外观察测量显微镜

 

DZ2-IR是一款接收红外波长的变焦视频显微镜,具有较高的分辨率和放大倍率,可以观察样品内部缺陷和结构,在半导体封装中应该广泛,如BGACSPCOF

它具有以下特点:

1.650μm~1200nm波长光学系统从可见光到近红外范围。

2.无极变倍放大倍率(1.5x~15x)或(5x~50x)。不需要更换物镜,同时具有较高的工作记录。

3.配置Uni-Measure测量软件,进行大尺寸移动测量或微观小尺寸测量。

4.配备表面和透射红外光照明,能很好的应用于半导体各种封装内部结构的观察。

设备简介:

一、光源选择

搭配表面和透射光源可观察芯片内部结构:

 

二、镜头参数

 

 

 

 

三、工作距离

可方便的对样品进行操作,具有较长的工作距离
低倍物镜(1.5X - 15X):W.D 46.2毫米

倍率物镜(5X – 50X):W.D 14毫米

 

 五、主要应用

 

搭配GaAs红外CCD观察晶圆及芯片内部缺陷

观察BGA封装焊球的位置

 

 

Wafer正面反面结构位置偏移

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