紅外觀察測量顯微鏡DZ2-IR
型號:DZ2-IR
品牌:UNIOn
品名:紅外觀察測量顯微鏡
DZ2-IR是一款接收紅外波長的變焦視頻顯微鏡,具有較高的分辨率和放大倍率,可以觀察樣品內部缺陷和結構,在半導體封裝中應該廣氾,如BGA,CSP和COF等…
它具有以下特點:
1.650μm~1200nm波長光學系統從可見光到近紅外範圍。
2.無極變倍放大倍率(1.5x~15x)或(5x~50x)。不需要更換物鏡,同時具有較高的工作記錄。
3.配置Uni-Measure測量軟件,進行大尺寸移動測量或微觀小尺寸測量。
4.配備表面和透射紅外光照明,能很好的應用於半導體各種封裝內部結構的觀察。
設備簡介:
一、光源選擇
搭配表面和透射光源可觀察芯片內部結構:
二、鏡頭參數
三、工作距離
可方便的對樣品進行操作,具有較長的工作距離
低倍物鏡(1.5X - 15X):W.D 46.2毫米
倍率物鏡(5X – 50X):W.D 14毫米
五、主要應用
搭配GaAs紅外CCD觀察晶圓及芯片內部缺陷
觀察BGA封裝焊球的位置
Wafer正面反面結構位置偏移
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