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日本Union-搭配表面和透射光源丨觀察芯片-顯微鏡-DZ2-IR 

          

  紅外觀察測量顯微鏡DZ2-IR

型號:DZ2-IR

品牌:UNIOn

品名:紅外觀察測量顯微鏡

 

DZ2-IR是一款接收紅外波長的變焦視頻顯微鏡,具有較高的分辨率和放大倍率,可以觀察樣品內部缺陷和結構,在半導體封裝中應該廣氾,如BGACSPCOF

它具有以下特點:

1.650μm~1200nm波長光學系統從可見光到近紅外範圍。

2.無極變倍放大倍率(1.5x~15x)或(5x~50x)。不需要更換物鏡,同時具有較高的工作記錄。

3.配置Uni-Measure測量軟件,進行大尺寸移動測量或微觀小尺寸測量。

4.配備表面和透射紅外光照明,能很好的應用於半導體各種封裝內部結構的觀察。

設備簡介:

一、光源選擇

搭配表面和透射光源可觀察芯片內部結構:

 

二、鏡頭參數

 

 

 

 

三、工作距離

可方便的對樣品進行操作,具有較長的工作距離
低倍物鏡(1.5X - 15X):W.D 46.2毫米

倍率物鏡(5X – 50X):W.D 14毫米

 

 五、主要應用

 

搭配GaAs紅外CCD觀察晶圓及芯片內部缺陷

觀察BGA封裝焊球的位置

 

 

Wafer正面反面結構位置偏移

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